项目名称 | 纯度指标（%） | ||
氢气 | ≥99.9999 | ≥99.999 | |
杂质含量（ppm)
| 氧气（O2） | ≤0.2 | ≤1 |
水（H2O） | ≤1 | ≤3 | |
氮气（N2） | ≤0.4 | ≤5 | |
一氧化碳（CO） | ≤0.1 | ≤1 | |
二氧化碳（CO2) | ≤0.1 | ≤1 | |
甲烷（CH4） | ≤0.2 | ≤1 | |
包装：采用40L、49L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8-10L的气瓶中。
用途：半导体制造用平衡气，蚀刻气、标准气、零点气、校正气、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、气体燃料、石油精炼等。
理化性质: 氢气有窒息性，有易燃易爆性。氢气是世界上已知的密度最小的气体，只有空气的1/14，即在0 ℃时，一个标准大气压下，氢气的密度为0.0899 g/L。
注意事项：氢气因为是易燃压缩气体，故应储存于阴凉、通风的仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与氧气、压缩空气、卤素（氟气、氯气、溴）、氧化剂等分开存放。切忌混储混运。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型，开关设在仓外，配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备工具。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
