氢气

  • 所属分类:特种气体

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项目名称

纯度指标(%)

氢气

≥99.9999

≥99.999

杂质含量(ppm)

 

氧气(O2)

≤0.2

≤1

水(H2O)

≤1

≤3

氮气(N2)

≤0.4

≤5

一氧化碳(CO)

≤0.1

≤1

二氧化碳(CO2)

≤0.1

≤1

甲烷(CH4)

≤0.2

≤1

 

包装:采用40L、49L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8-10L的气瓶中。

 

用途:半导体制造用平衡气,蚀刻气、标准气、零点气、校正气、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、气体燃料、石油精炼等。

 

理化性质: 氢气有窒息性,有易燃易爆性。氢气是世界上已知的密度最小的气体,只有空气的1/14,即在0 ℃时,一个标准大气压下,氢气的密度为0.0899 g/L。

 

注意事项:氢气因为是易燃压缩气体,故应储存于阴凉、通风的仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与氧气、压缩空气、卤素(氟气、氯气、溴)、氧化剂等分开存放。切忌混储混运。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型,开关设在仓外,配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备工具。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。

 

 


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