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清洁能源 常规气体 食品级气体 特种气体

氩气 Ar)

 

项目名称

纯度指标(%

氩气

≥99.99

≥99.999

杂质含量(ppm)

 

氧气(O2

≤0.2

≤2

水(H2O

≤0.2

≤4

氮气(N2

≤0.4

≤5

一氧化碳(CO

≤1

≤1

二氧化碳(CO2)

≤0.5

≤1

碳氢化合物(THC

≤0.1

≤2

 

包装:采用40L49L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中。

 

用途:用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、冶炼、切割、焊接等。

 

理化性质氩气的性质非常稳定,既不能燃烧,也不助燃。氩本身无毒,但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时,出现严重症状,浓度达到75%以上时,能在数分钟内死亡。液氩可以伤皮肤,眼部接触可引起炎症。

 

注意事项:密闭操作,提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。远离易燃、可燃物。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30。应与易(可)燃物分开存放,切忌混储。 一般不需特殊防护,当作业场所空气中氧气浓度低于18%时,必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。

 


上一个:混合气体

下一个:氧气