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清洁能源 常规气体 食品级气体 特种气体

氨气 (NH3)

 

项目名称

纯度指标(%)

氨气

≥99.8

杂质含量(ppm)

 

氮气(N2)

≤0.01

氧气(O2)

≤0.01

碳氢化合物(THC)

≤0.02

水(H2O)

≤0.06

一氧化碳(CO))

0.01

二氧化碳(CO2)

≤0.05

甲烷(CH4)

-

 

包装:采用450L、200L钢瓶充装。

 

用途:用于晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

 

理化性质通常为无色有强烈刺激性气味,常温下加压可液化,临界温度132.9,临界压力11.38MPa,常压下冷却到-33.35时液化。液氨挥发性很强,气化时吸热很大,在-77.75时凝固成无色结晶。氨极易溶于水,并放出热量。氨的水溶液称为氨水,呈弱碱性,易挥发。自燃点630,在空气中遇火能爆炸。

常温、常压下在空气中的爆炸极限为16%~28%(体积)。

 

注意事项:

1、工作时应选用耐腐蚀的工作服、防碱手套、眼镜、胶鞋、用硫酸铜或硫酸锌防毒口罩,防毒口罩应定期检查,以防失效。

2、在使用氨水作业时,应在作业者身旁放一盆清水,以防万一;在氨水运输过程中,应随身携带2~3只盛满3%硼酸液的水壶,以备急救冲洗;配制一定浓度氨水时,应戴上风镜;使用氨水时,作业者应在上风处,防止氨气刺激面部;操作时要严禁用手揉擦眼睛,操作后洗净双手。

3、配备良好的通风排气设施、合适的防爆、灭火装置。

4、工作场所禁止饮食、吸烟、禁止明火、火花。

5、应急救援时,必须佩带空气呼吸器。

6、发生泄漏时,将泄漏钢瓶的渗口朝上,防止液态氨溢出。

7、加强生产过程的密闭化和自动化,防止跑、冒、滴、漏。

8、使用、运输和贮存时应注意安全,防止容器破裂和冒气。

9、现场安装氨气监测仪及时报警发现。

 


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